半導(dǎo)體石墨模具選用的材料

半導(dǎo)體石墨模具選用的材料
一、電子器材燒結(jié)
石墨模具可用在各種類型的可控硅管、三極管和二極管等器材的管心燒結(jié)，如果選用高頻爐區(qū)熔法拉制單晶時(shí)，還選用石墨舟。
二、絕緣子燒結(jié)模具
石墨模適用于電容器絕緣子燒結(jié)；厚膜及薄膜集成電路絕緣子燒結(jié)；各種類型的三極管、硅整流管、可控硅管座的燒結(jié)；超小型繼電器、接插件等元件絕緣子燒結(jié)模具等。
圖：石墨模具
半導(dǎo)體工業(yè)要求的石墨材料要求特別高的，顆粒度細(xì)的石墨具有精度高，且耐高溫、高強(qiáng)度、損耗小等優(yōu)點(diǎn)，比如：燒結(jié)用的石墨模具。由于半導(dǎo)體行業(yè)使用的石墨設(shè)備（包括加熱器及其燒結(jié)模具）都是需要承受反復(fù)的加熱和冷卻過程，為了達(dá)到延長(zhǎng)石墨設(shè)備的使用壽命，通常要求所使用的石墨材料都具有性能穩(wěn)定和耐熱沖擊功能。為了達(dá)到上述的各種要求，我國(guó)現(xiàn)在也研發(fā)出了一系列適用于半導(dǎo)體行業(yè)所需要的石墨材料。
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